系統(tǒng)概述
OAC是潔凈廠房的集中新風(fēng)處理的系統(tǒng)，也叫新風(fēng)處理裝置；歐美叫做
MAU:Make-upair unit新風(fēng)機組；日本叫做OAC：outdoorair conditioner外氣處理機組。一般有3個作用：
1、去除室外空氣中的灰塵顆粒和有毒有害氣狀物。
2、對送入潔凈室的新風(fēng)進行集中處理，以達到FAB所需的具有一定溫濕度和潔凈度的補充空氣－－潔凈室的濕度一般就是由MAU來控制。
3、根據(jù)室內(nèi)正壓壓差計控制送入一定量的新風(fēng)，以維持潔凈廠房的正壓值。
某項目OAC布局圖
OAC處理外氣流程概述
外界新風(fēng)→無紡布→初效過濾器→ 中效過濾器→預(yù)熱/冷處理（冬季工況下要求水噴淋前溫度達到18℃→水噴淋將新風(fēng)溫度降**12.7度，濕度為100%RH）→再冷/熱處理（將送風(fēng)溫度調(diào)節(jié)**22℃，濕度為45%RH）→化學(xué)過濾器→高效過濾器→送**潔凈室回風(fēng)夾道上方。
夏季OAC設(shè)計外氣入口工況為夏季：39℃ DB、31.8℃ WB，處理流程如下： 1.經(jīng)過預(yù)處理段和水噴淋將較熱的新風(fēng)處理為22℃、100%RH。
2.根據(jù)出風(fēng)溫濕度設(shè)定值22℃、45%，此時露點溫度為10.3℃、100%，所以經(jīng)過再冷盤管后，將新風(fēng)溫度降為10.3℃（100%）。 3.經(jīng)過再熱盤管，將出風(fēng)溫度升**22℃。
冬季OAC設(shè)計外氣入口工況為夏季：-10℃ DB, -20℃ DP，處理流程如下： 1.經(jīng)過預(yù)處理段將較冷較干的新風(fēng)升溫**18℃。2.經(jīng)過水噴淋段將新風(fēng)處理為12.7℃、100%RH，利用水噴淋送水溫度，減小了再冷盤管除濕時的負(fù)荷，根據(jù)水噴淋段的換熱效率，設(shè)計預(yù)處理段19℃，經(jīng)過水噴淋的熱交換，使其噴淋后溫度控制在12.7℃。
3.經(jīng)過再冷盤管將送風(fēng)溫度降**OAC送風(fēng)露點溫度10.3℃、100%。 4.經(jīng)過再熱盤管，將出風(fēng)溫度升**22℃。
新風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)及其組成 新風(fēng)空調(diào)的組成
1.初效過濾器、中效過濾器、化學(xué)過濾器、超高效過濾器。 2.預(yù)冷段、預(yù)熱段、水噴淋段、再冷段、再熱段。 3.風(fēng)機段以及其他附屬儀表組成。
過濾器分類
OAC系統(tǒng)有四種過濾器：初效過濾器、中效過濾器、高效過濾器、化學(xué)過濾器。 采用鋼格柵可沖洗式初效過濾器，初效過濾器可拆卸清洗，風(fēng)量損失為10%，過濾顆粒效率為80%。
中效過濾器：尺寸為610×610×290mm，過濾顆粒效率為98%。
超高效過濾器：尺寸為610×610×292mm，過濾顆粒效率為99.9995%。
化學(xué)過濾器參數(shù)如下：
OAC化學(xué)過濾器要求 
預(yù)熱盤管在冬季工況下設(shè)定**小開度，為防止OAC在未開啟的狀態(tài)下，外氣較低的溫度可能會凍傷盤管，所以無論OAC是否開啟，在冬季工況下預(yù)熱盤管設(shè)定有**小開度防止盤管結(jié)凍。
冬季工況下，由于OAC預(yù)熱盤管的控制點在噴淋段之后，預(yù)冷盤管的控制點在噴淋段之前，當(dāng)預(yù)熱條件滿足的情況下，相對于噴淋前控制的溫度會高于預(yù)冷段控制點，這樣預(yù)處理時冷熱盤管會同時開啟，導(dǎo)致資源浪費，冬季工況下并不需要開啟預(yù)冷盤管，改良后的控制方法是將預(yù)冷預(yù)熱盤管的控制點改正同為噴淋前溫度，而將噴淋后溫度設(shè)置為加濕板換中溫水閥門開度控制，這樣就避免了預(yù)處理段冷熱水閥門同時開啟，從而節(jié)約了能源。
冬季工況下，由于OAC預(yù)熱盤管的控制點在噴淋段之后，預(yù)冷盤管的控制點在噴淋段之前，當(dāng)預(yù)熱條件滿足的情況下，相對于噴淋前控制的溫度會高于預(yù)冷段控制點，這樣預(yù)處理時冷熱盤管會同時開啟，導(dǎo)致資源浪費，冬季工況下并不需要開啟預(yù)冷盤管，改良后的控制方法是將預(yù)熱盤管自控閥開度和水噴淋板換處中溫水自控閥開度同步，等于將水噴淋溫度提高，降低了預(yù)熱盤管的開度，在保證水噴淋后溫度的同時，水噴淋前的溫度也有所下降，低于預(yù)冷盤管設(shè)定值時，則無需開啟預(yù)冷盤管，可以達到節(jié)能的效果。 水噴淋泵簡介
每臺OAC水噴淋段有兩個水噴淋泵及其附件組成，水噴淋段有兩個重要的功能： 1.加濕較干的空氣，經(jīng)過再冷再熱后達到要求的送風(fēng)濕度。2溶解外氣可溶于水的化學(xué)成分，減少OAC化學(xué)過濾器和FFU上化學(xué)過濾器的負(fù)擔(dān)。
OAC系統(tǒng)對潔凈室的影響 某項目案例：
OAC空調(diào)機設(shè)置在N/S 4F和FAB 5F東西兩側(cè) FAB 5F 西側(cè)：OAC 1#~6#
FAB 5F 東側(cè)：OAC 8#~14# N/S 4F：OAC 7#
14臺OAC擁有各自的新風(fēng)入口，而出口則組成一個環(huán)形網(wǎng)絡(luò)連通后，通過集管送入潔凈廠房，并通過區(qū)域新風(fēng)閥的開度，控制各個區(qū)域的正壓梯度。
保證潔凈室內(nèi)新風(fēng)溫度接近要求值 保證潔凈室內(nèi)區(qū)域的濕度
保證潔凈室內(nèi)各區(qū)域的正壓梯度
OAC送風(fēng)送**FAB 4F回風(fēng)夾道，和回風(fēng)組成的混合新風(fēng)送**干盤管進行再次降溫，根據(jù)區(qū)域的溫濕度探頭反饋**調(diào)整盤管開度，已降溫的風(fēng)由FFU送**潔凈室3F，與環(huán)境熱量熱交換后經(jīng)由華夫地板壓**潔凈室2F，與環(huán)境熱量熱交換后，經(jīng)由兩側(cè)的負(fù)壓區(qū)回風(fēng)夾道重新與新風(fēng)混合送入干盤管。潔凈室的濕度是直接受OAC影響的，OAC的送風(fēng)**濕度將直接影響到末端區(qū)域空氣的含濕量，不經(jīng)其他處理，而潔凈室內(nèi)的基準(zhǔn)點和OAC送風(fēng)溫含濕量一樣，設(shè)為22℃，45%RH，只要干盤管能控制住溫度穩(wěn)定在22℃，OAC的送風(fēng)含濕量穩(wěn)定，室內(nèi)熱源沒有波動，室內(nèi)的相對濕度就不會受其他因素的影響。 #p#分頁標(biāo)題#e#
OAC風(fēng)機頻率受集管靜壓的控制，OAC集管靜壓點一共有五處，分別為東南、西南、東北、西北、N/S 4F。系統(tǒng)暫時啟用了東南（代表了東側(cè)靜壓）、西側(cè)平均值（代表了西側(cè)靜壓），N/S4F三個靜壓控制點，東南靜壓控制點控制東側(cè)OAC 8#~14#的風(fēng)機頻率，西南靜壓控制點控制OAC 1#~6#的風(fēng)機頻率，N/S 4F靜壓控制點控制OAC 7#風(fēng)機頻率，每個控制點平均分配風(fēng)機頻率，每臺受控制的OAC風(fēng)機運行頻率保持一致，集管靜壓設(shè)定值在控制畫面中可以調(diào)整，系統(tǒng)會根據(jù)靜壓設(shè)定值調(diào)整對應(yīng)OAC風(fēng)機的頻率。注：風(fēng)機**低頻率設(shè)為20Hz。
潔凈室正壓梯度如上圖，1個+代表**低的正壓度，設(shè)定為對正壓基準(zhǔn)點（0位/外界）有5Pa的正壓，2個+則表示對1個+的區(qū)域設(shè)定有5Pa的正壓，3個+的區(qū)域則是對2個+的區(qū)域設(shè)定有5Pa的正壓。為保證潔凈室內(nèi)的潔凈度，潔凈室不允許有外界的臟空氣進入，因此正壓度越高的區(qū)域，潔凈度也越高，對應(yīng)區(qū)域的新風(fēng)閥開度會比較大。正壓基準(zhǔn)點探頭現(xiàn)設(shè)在FAB 5F東側(cè)機房內(nèi)，OAC 9#送風(fēng)管旁邊，注：各區(qū)域隔斷門打開也會短時間影響潔凈室內(nèi)的壓差，所以開門的時間不宜過長。
OAC送風(fēng)通過集管經(jīng)由各個區(qū)域的新風(fēng)閥送**FAB內(nèi)，新風(fēng)閥的開度是根據(jù)各個區(qū)域設(shè)定的正壓度調(diào)整的，室內(nèi)壓差控制反饋與設(shè)定值如有差異，會調(diào)整對應(yīng)區(qū)域新風(fēng)閥的開度，4F 主FAB新風(fēng)閥共有43個。注：新風(fēng)閥的動作會影響到室內(nèi)溫濕度波動，風(fēng)量增大會改變原有的PID曲線。新風(fēng)閥的動作會影響到對應(yīng)區(qū)域OAC集管靜壓值。比如區(qū)域正壓不夠，對應(yīng)區(qū)域新風(fēng)閥開度增大，集管送風(fēng)量增大，因增加了泄壓口，集管靜壓會降低，此時靜壓控制點提高對應(yīng)OAC風(fēng)機頻率，直**該側(cè)集管靜壓達到設(shè)定值。反之，OAC集管靜壓的波動又會影響末端區(qū)域正壓度，一旦正壓度超過/低于設(shè)定值，會控制對應(yīng)區(qū)域新風(fēng)閥動作，集管靜壓和室內(nèi)壓差的波動，長時間波動會帶來送風(fēng)溫度和送風(fēng)濕度的波動，所以應(yīng)盡量避免長時間地開啟各區(qū)域隔斷門（FAB 2F/3F/4F），做好各區(qū)域的圍封。注：OAC風(fēng)機頻率的升降會導(dǎo)致OAC送風(fēng)溫濕度的少量波動，風(fēng)量增大/減小，熱負(fù)荷會有增/減。
另外，氣流走向?qū)貪穸鹊挠绊懸彩潜容^明顯的，由于室內(nèi)正壓梯度的存在，以及各區(qū)域AMHS小車通行必須常開的空洞，導(dǎo)致潔凈室內(nèi)正壓高的區(qū)域氣流會壓向正壓較低的區(qū)域，此時，正壓低的區(qū)域溫濕度會直接受鄰近區(qū)域干盤管閥門開度的影響，加上各區(qū)域機臺產(chǎn)生的熱量不均勻，更容易造成局部溫度失控或者控制錯位的現(xiàn)象。 D/C系統(tǒng)
先前說到OAC新風(fēng)是與FAB內(nèi)回風(fēng)混合后進入FAB內(nèi)，末端溫度由干盤管進行精控，這里介紹一下干盤管系統(tǒng)的組成和控制原理，干盤管又稱為D/C：DRY COOLING COIL（干式冷盤管），主FAB內(nèi)的干盤管分布于FAB 4F東西兩側(cè)的馬道，S/S 3F的干盤管分布于S/S 3F吊頂上方，CMP的干盤管分布于CMP吊頂上方，其他還有二次更衣室回風(fēng)夾道內(nèi)的4組干盤管，化學(xué)實驗室內(nèi)1組干盤管。 FAB 4F東側(cè)干盤管→ FAB 3F東側(cè)區(qū)域溫度 FAB 4F西側(cè)干盤管→ FAB 3F西側(cè)區(qū)域溫度 CMP吊頂上干盤管→ CMP區(qū)域溫度
S/S 3F吊頂上干盤管→ S/S 3F區(qū)域溫度 二更干盤管→ 二更區(qū)域溫度
S/S 1F干盤管 →S/S 1F化學(xué)實驗室溫度
干盤管系統(tǒng)包括：
現(xiàn)場盤管 BP送水泵 附屬儀表閥門
BP泵每組有兩臺，一用一備，配有變頻器，根據(jù)壓力變頻運行，滿載為50Hz。
D/C系統(tǒng)共有4組自控閥： BP泵冷水送水主管控制閥 BP泵干盤管回水混水閥 BP泵壓力旁通閥
D/C溫度控制閥
BP泵送水溫度控制冷水送水主管控制閥的開度，冷水送水主管控制閥與回水混水閥是聯(lián)動的，互相補償為100%，若送水溫度高于設(shè)定值，冷水送水主管控制閥開度增加，更多5℃的冷水并入系統(tǒng)，而此時混水閥開度會對應(yīng)減小，回水更多的往冷水回水管道走，減小官網(wǎng)中較熱的回水并入循環(huán)。 壓力旁通閥和BP泵的頻率同時受到壓力控制點的控制，如送水壓力高/低于設(shè)定值，控制輸出也會變化，比如送水壓力高于設(shè)定值，自動控制shou先會降低頻率，直到頻率降到5Hz，壓力旁通閥會慢慢打開，直到壓力與設(shè)定值一致，壓力控制點輸出規(guī)則為：OP=0~50%對應(yīng)BP泵頻率50Hz~5Hz（旁通閥全關(guān)），OP=50%~100%對應(yīng)旁通閥開度0~100%（此時階段BP泵頻率仍為5Hz運行，為了安全考慮，旁通閥已經(jīng)強制欲開了10%，所以自始**終旁通閥開度的變化為10%~100%） 干盤管溫度控制閥直接受室內(nèi)溫濕度探頭反饋值的影響，室內(nèi)溫度反饋如果高于設(shè)定值。干盤管溫度控制閥開度增大，干盤管中冷水量變大，將潔凈室更多的熱量帶入BP泵的循環(huán)中，BP泵送水溫度上升，冷水主管控制閥開度增大，此時管網(wǎng)中的水量增大，導(dǎo)致壓力過高，BP泵頻率會相應(yīng)降低一些，但是BP泵主管控制閥開度增大后，BP泵送水溫度下降，此時潔凈室溫度還未恢復(fù)，所以D/C溫度控制閥還未關(guān)小，瞬間系統(tǒng)會有大量的冷量直接投放到干盤管與潔凈室循環(huán)風(fēng)接觸，導(dǎo)致區(qū)域溫度下降過快，此時系統(tǒng)會關(guān)小D/C溫度控制閥，回到BP回水的熱量少了，BP泵送水溫度下降，冷水主管控制閥開度減小，一次波動結(jié)束，通過PID的調(diào)整，系統(tǒng)會趨于穩(wěn)定。
注：若PID時常需要手動干預(yù)，可以將BP泵冷水主管控制閥或者D/C溫度控制閥中的一個手動控制，另一個保持自動控制，直到系統(tǒng)穩(wěn)定。 #p#分頁標(biāo)題#e#
FFU為英文縮寫（請見南社百科），全稱為 Fan FilterUnits, 中文意思為"風(fēng)機濾器單元（機組）"。也就是將風(fēng)機和超高效過濾器（ULPA））組合在一起構(gòu)成自身提供動力的末端凈化設(shè)備。確切地說是一種自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置。風(fēng)機從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)ULPA過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。
